54 Mikroporöse Vakuumplatten
1. Spannen mit Witte Vakuum-Spannplatten
Die Vakuum- Spannplatten von Witte haben sich in vielen
Bereichen der Halbleitertechnik bewährt und einen Namen
für ein präzises, schnelles und „schonendes“ spannen gemacht.
Diese leichten und trotzdem sehr präzisen Vakuumplatten
werden aus einer Alu-Legierung hergestellt und haben in der
Regel eine mikroporöse Spannfläche aus einem Metapor Material.
Aber auch sogenannte Lochrasterplatten mit kleinen
Bohrungen, welche in einem bestimmten Raster angeordnet
sein können, sind als kundenspezifische Ausführung realisierbar.
(Bezug zu Bildern)
2. Flexibel
Neben verfügbaren Standardversionen dieser Vakuum-
Spannplatten, bietet Witte jede nur denkbare spezifische Ausführung
und Größe an. Die technischen Anforderungen und
Umgebungsbedingungen des Prozesses bei unseren Kunden
stellen wir uns und entwickeln gemeinsam mit dem Kunden
ein ausgereiftes Konzept. Diverse technisch machbare Konfigurationen
sind bereits Realität.
3. Präzise
Ein moderner Maschinenpark und klimatisierte Messräume
mit hochpräzisen Messmaschinen gewährleisten eine ausgezeichnete
Qualität der Produkte. Die Vakuum-Spannplatten
können, wenn dies das Anwendungsprofil des Kunden erfordert,
in einer Ebenheit und/oder Planparallelität von <5μm geliefert
werden.
4. Zuverlässigkeit
Die Vakuum-Spannfläche kann aus einem mikroporösen Material
bestehen, welches ein absolut „ebenes“ Spannen bzw.
Sonderausführung mit integrierter Heizung
und elektronischer Temperatur-Steuerung
Halten gewährleistet. Dünne Trägerfolien oder Wafer werden
nicht wie üblich durch Saugbohrungen, Saugnuten o.ä. angezogen
und oft deformiert. Das geringe Gewicht und die Präzision
der Vakuumplatten sichern auch einen hohen Nutzen bei
Automatisierungsanwendungen.
5. Universell
Ein weiterer großer Vorteil der mikroporösen Vakuum-Spannplatten
liegt darin, dass z.B. bei nicht vollständig abgedeckten
Spannflächen der mikroporösen Oberfläche, das Vakuum
trotzdem einen hohen Wirkungsgrad erreicht. Hierdurch können
auch verschieden große Werkstücke auf ein und derselben
Vakuumplatte fixiert werden. Die poröse Oberfläche kann
aber auch in getrennt voneinander schaltbare Bereiche eingeteilt
werden, sodass diese dann individuell mit Vakuum beaufschlagt
werden können. (Bezug Bild)
Integrierte Luftlagertechnik, Auswerfer und Lifting- Pins sind
nur einige der technischen Zutaten dieser innovativen Konzepte.
Desweiteren können die Vakuumplatten auch bis zu einer
Temperatur von 150°C „heizbar“ mit einer entsprechenden
Temperatur Regelung gestaltet werden. (Bezug Bild)
Ebenso Kühlungen, die der Prozess erforderlich macht, oder
Durchlichtanwendungen sind möglich.
6. Alles aus einer Hand
Witte liefert neben den Standard- und kundenspezifischen Vakuum
Spannplatten auch alle nötigen Zubehör Komponenten
wie einfache Ejektoren, Vakuumpumpen, Drehdurchführungen,
Schläuche, Magnetventile und vieles mehr.
Unsere Experten beraten Sie gerne und freuen sich auf Ihre
Anfrage.
Vakuum-
Spanntechnik
für neue Technologien in
Forschung und Entwicklung