Mikroporöse Vakuumplatten 55
Sonderausführung mit drei gesteuerten Spannbereichen, Anschlägen für die Werkstückpositionierung
und so genannten Liftingpins zur Erleichterung der Waferentnahme
Lochraster-
Spannplatte mit
feinstbearbeiteter
Spannfläche
Fluoreszierendes Chuck, Durchmesser 6“
Feinstgefrästes Vakuum chuck zum Spannen von
Wafern. Spannfläche aus mikroporösen Werkstoff Witte
MP CE100 WHITE. Plangenauigkeit < 0,005mm
Autarkes Vakuum-
Spannfutter.
Losgelöst von allen
externen Versorgungen
können Werkstücke
mittels Vakuum
gespannt werden.
Akkus, Vakuumpumpe,
Anzeige- Überwachungsgeräte
und Ventile sind
integriert
